使用renishaw激光干涉仪时应该注意的几个要点

　　renishaw激光干涉仪是利用激光作为长度基准，对数控设备的位置精度、几何精度进行精密测量的高精度测量仪器。仪器测量的是距离、以及衍生出来的平行度、垂直度、直线度、圆度，测量的精度可高达0.2微米/米，但同时对环境也较为挑剔。

　　

　　激光精度受环境影响较大，*的测量精度必须依靠较为稳定车间环境，所以激光干涉仪要得出真实的测量数据必须和机床充分预热，车间环境也参考仪器使用的环境。

　　

　　激光干涉仪初步调整后，固定分光镜并在分光镜上安装光靶，通过“整体”调整瞄准光靶后，取下分光镜光靶，将Z轴升高，观察激光在反光镜光靶上偏离程度，同时透过“尾部”调整使激光对准反光镜光靶，若在此过程中因“尾部”的调整导致分光镜遮挡了部分激光，则将Z轴停止上升回到起始处，重新调整“整体”，再次对准反射镜光靶。紧接着再升Z轴，继续调整“尾部”，观察激光在反光镜光靶上偏离程度。重复整个过程，往往几次即可达到准直要求。

　　

　　renishaw激光干涉仪的使用注意事项

　　

　　1、仪器必须定人保管，技术组人员专人送检，他人不得随意动用，以防损坏，降低精度。

　　

　　2、要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。

　　

　　3、对仪器要小心轻放，避免强烈的冲击震动，安置仪器前应检查三脚架的牢固性，整个作业过程中工作人员不得离开仪器，防止意外发生。

　　

　　4、renishaw激光干涉仪应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量，此时检测结果将收到很大的影响。